Beiträge zur Verringerung der Positionierunsicherheit

In dieser Dissertation werden Maßnahmen zur Verringerung der Positionierunsicherheit einer Nanopositionier- und Nanomessmaschine vorgestellt. Sie erreicht in einem Messbereich von 25 mm x 25 mm x 5 mm eine Positionsauflösung von 0,1 nm. Zur Verringerung der Temperaturempfindlichkeit wurden die zur Längenmessung verwendeten Planspiegelinterferometer konstruktiv verändert. Zudem werden die vertikalen, elektrodynamischen Antriebssysteme durch eine neuartige Gewichtskraftkompensation stärker entlastet und die Temperaturstabilität in der Messkammer durch eine verbesserte Klimaregelung erhöht. Durch die veränderte Lagerung einer neu konstruierten, monolithischen Messspiegelecke treten verkleinerte Oberflächenabweichungen auf. Die Unsicherheit für die Bestimmung von Winkelabweichungen bei der Bewegung der Messspiegelecke wurde deutlich verkleinert. Die bei Verkippung des Messobjektes entstehenden Längenmessabweichungen erster und zweiter Ordnung werden dadurch reduziert.

Autorentext

Ingomar Schmidt, Dr.-Ing.: Studium der Elektrotechnik undInformationstechnik an der TU Ilmenau mit SchwerpunktProzessmess- und Sensortechnik, wissenschaftlicher Assistent amInstitut Prozessmess- und Sensortechnik der TU Ilmenau, Promotionim Jahr 2008, ab März 2008 Assistent der Geschäftsführung bei derWerth Messtechnik GmbH Giessen.