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Abbildende Ellipsometrie mit Lichtwegumkehrung für die optische Charakterisierung von gekrümmten Oberflächen
CHF 70.20
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CN5NM1D2P3S
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Geliefert zwischen Mi., 26.11.2025 und Do., 27.11.2025
Details
Die Ellipsometrie ist ein Messverfahren zur Oberflächencharakterisierung und Dünnschichtmessung von ebenen Oberflächen unter Verwendung von polarisiertem Licht. Ein neues Messprinzip basierend auf Lichtwegumkehrung und Retroreflexion ermöglicht jedoch die Erfassung von beliebigen Freiformflächen. Dieses neue Messprinzip und damit verbundene Fragestellungen zur Messabbildung, Auswertealgorithmik und Mehrdeutigkeiten sowie Freiheitsgrade der Lösungsmenge werden in dieser Arbeit untersucht. Ellipsometry is a measuring method for surface characterization and thin-film measurement of flat surfaces using polarized light. However, a new measuring principle based on return-path ellipsometry and retroreflection enables the detection of free-form surfaces. This new measurement principle and related questions regarding the measurement function, evaluation algorithms and ambiguities as well as degrees of freedom of the solution set are examined in this work.
Weitere Informationen
- Allgemeine Informationen
- GTIN 09783731513025
- Genre Sonstige Informatikbücher
- Auflage 23001 A. 1. Auflage
- Sprache Deutsch
- Lesemotiv Verstehen
- Anzahl Seiten 326
- Größe H210mm x B148mm x T21mm
- Jahr 2023
- EAN 9783731513025
- Format Kartonierter Einband
- ISBN 978-3-7315-1302-5
- Veröffentlichung 14.07.2023
- Titel Abbildende Ellipsometrie mit Lichtwegumkehrung für die optische Charakterisierung von gekrümmten Oberflächen
- Autor Christian Emanuel Negara
- Gewicht 474g
- Herausgeber Karlsruher Institut für Technologie
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