Co-Sputtern von metallhaltigen Kohlenstoffschichten

Heutzutage werden zur Messung von hydraulischen Drücken, Gewichten und Kräften Dehnungsmessstreifen (DMS) benutzt. Diese ändern bei mechanischer Belastung ihren elektrischen Widerstand und wandeln so die mechanische Größe in ein elektrisches Signal um. Die Arbeitsgruppe von Herrn Prof. Dr. Günter Schultes an der HTW des Saarlandes beschäftigt sich mit der Entwicklung von neuartigen metallhaltigen Kohlenstoffschichten für die Anwendung als Sensorelement. Die Änderung des elektrischen Widerstandes ist dabei um ein Zehnfaches höher als bei derzeit eingesetzten DMS bei gleichzeitiger Temperaturunabhängigkeit. Somit lassen sich beispielsweise minimale Dehnungen in Bauteilen messen. Im Buch wird die Herstellung der Schichten mittels Co-Sputtern beschrieben. Dabei werden Analysen zur Struktur der Schichten mithilfe des REM, FE-SEM und XRD erstellt. Desweiteren werden die Eigenschaften der Schichten wie der elektrische Widerstand, der k-Faktor, der TKR und die Stabilität untersucht und ausgewertet.

Autorentext

Master of Science, Studium im Bereich Mechatronik / Sensortechnik an der HTW des Saarlandes, Mitarbeiter im Labor für Mikro- und Dünnschichttechnologie I-MST.

Klappentext

Heutzutage werden zur Messung von hydraulischen Drücken, Gewichten und Kräften Dehnungsmessstreifen (DMS) benutzt. Diese ändern bei mechanischer Belastung ihren elektrischen Widerstand und wandeln so die mechanische Größe in ein elektrisches Signal um. Die Arbeitsgruppe von Herrn Prof. Dr. Günter Schultes an der HTW des Saarlandes beschäftigt sich mit der Entwicklung von neuartigen metallhaltigen Kohlenstoffschichten für die Anwendung als Sensorelement. Die Änderung des elektrischen Widerstandes ist dabei um ein Zehnfaches höher als bei derzeit eingesetzten DMS bei gleichzeitiger Temperaturunabhängigkeit. Somit lassen sich beispielsweise minimale Dehnungen in Bauteilen messen. Im Buch wird die Herstellung der Schichten mittels Co-Sputtern beschrieben. Dabei werden Analysen zur Struktur der Schichten mithilfe des REM, FE-SEM und XRD erstellt. Desweiteren werden die Eigenschaften der Schichten wie der elektrische Widerstand, der k-Faktor, der TKR und die Stabilität untersucht und ausgewertet.