Création de photomasques par lithographie laser sans masque

La photolithographie occupe la place principale dans la technologie moderne de fabrication de produits microélectroniques. Le processus technologique de photolithographie consiste en plusieurs opérations de base: préparation de la surface d'une plaquette semi-conductrice, application d'une couche de photorésist à la surface de la plaquette, séchage du photorésist, exposition, développement et durcissement du photorésist, contrôle des dimensions géométriques de l'image , gravure du film, lavage de la plaquette après gravure, retrait du film photorésistant de la surface, contrôle des plaques traitées. Le but du travail était d'obtenir des photomasques avec les paramètres minimaux possibles pour cet équipement. Pour cela, l'influence du temps de pose et du temps de développement sur les paramètres des photomasques (la nature du motif) obtenus par la méthode de lithographie laser sans masque sur l'installation d'exposition "Heidelberg µPG501" a été étudiée. À la suite des travaux, des photomasques avec des paramètres géométriques de 2 mim ont été réalisés, alors que pour ce lot le temps d'exposition optimal était de 35 ms et le temps de développement de 60 s.

Autorentext

Elena Anatolyevna Shnyagina - estudiante (maestría) de la Universidad Nacional de Investigación Tecnológica "MISiS", Instituto de Nuevos Materiales y Nanotecnologías.