Développement d'un contrôle de processus pour un réacteur CVD en poly-silicium à couches minces

La prise de conscience de la nécessité de réduire les émissions de CO2 n'a fait qu'ajouter au mandat en faveur des énergies renouvelables. La prise de conscience du public face à la hausse des prix de l'énergie et aux problèmes de réchauffement climatique a ouvert le marché des cellules solaires, exigeant une production d'électricité et un approvisionnement en énergie. Les efforts visent à faire des sources renouvelables un élément fondamental de la stratégie de développement durable de la production d'énergie. Stimulée par le marché international, l'augmentation de l'offre et de la demande de cellules solaires a donné une impulsion au développement rapide des industries de fabrication de cellules solaires, conduisant à un approvisionnement restreint en matière première de poly-silicium [1]. Les experts prédisent que la demande de technologie augmentera considérablement d'ici 2010, ce qui expliquerait la pénurie de lingots de silicium dans le monde. Celui-ci se concentre sur l'expansion des usines de production de silicium grâce au processus Siemens afin de promouvoir une utilisation optimale des ressources. Il est donc primordial pour les industries de transformation de se développer dans le domaine des contrôles de processus. Ce livre présente la conception et le développement du contrôle de processus des réacteurs CVD par conformité aux normes IEEE. Ce livre aide les ingénieurs, les chercheurs et les académiciens dans le domaine de l'instrumentation.

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A. S. Priya a obtenu un MTECH en conception VLSI et un BTECH en électronique et instrumentation de l'Amrita School of Engineering, Bangalore. Elle s'intéresse à la conception VLSI à faible consommation, à la DFT et à la DFD. Elle a 10 ans d'expérience professionnelle dans l'industrie VLSI dans les domaines DFT.