Diffusion Phenomena in the Chemically Amplified CARL® Resist System

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Details

Diffusion Phenomena in the Chemically Amplified CARL® Resist System

Weitere Informationen

  • Allgemeine Informationen
    • GTIN 09783831686353
    • Anzahl Seiten 88
    • Lesemotiv Verstehen
    • Genre Physikalische Chemie
    • Auflage 2., unveränderte Auflage (Erstauflage 2000)
    • Herausgeber Utz Verlag
    • Gewicht 140g
    • Größe H6mm x B145mm x T205mm
    • EAN 9783831686353
    • Titel Diffusion Phenomena in the Chemically Amplified CARL® Resist System
    • Autor Ernst-Christian Richter
    • Untertitel DE

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