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Entwicklung eines maskenlosen Fotolithographiesystems zum Einsatz im Rapid Prototyping in der Mikrofluidik und zur gezielten Oberflächenfunktionalisierung
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EFT03B3RP1N
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Geliefert zwischen Fr., 07.11.2025 und Mo., 10.11.2025
Details
In dieser Arbeit wurde eine auf einem Mikrospiegelarray basierende, maskenlose Lithographieanlage entwickelt und aufgebaut, mit welcher Einzelbilder nahtlos nebeneinander projiziert werden. Es wurden über Abformprozesse und direktlithographisch aus verschiedenen Polymeren cm² große Mikrofluidikchips mit 50 µm Kanälen in wenigen Stunden hergestellt. Zudem wurden biochemische Ligandenmuster in 256 verschiedenen Dichtegraden in wenigen Sekunden auf 5 mm² Fläche mit wenige µm großen Pixeln erzeugt.
Weitere Informationen
- Allgemeine Informationen
- GTIN 09783731501190
- Sprache Deutsch
- Genre Wärme-, Energie- & Kraftwerktechnik
- Lesemotiv Verstehen
- Größe H210mm x B148mm x T11mm
- Jahr 2014
- EAN 9783731501190
- Format Kartonierter Einband
- ISBN 978-3-7315-0119-0
- Veröffentlichung 03.09.2014
- Titel Entwicklung eines maskenlosen Fotolithographiesystems zum Einsatz im Rapid Prototyping in der Mikrofluidik und zur gezielten Oberflächenfunktionalisierung
- Autor Ansgar Waldbaur
- Untertitel Dissertationsschrift
- Gewicht 247g
- Herausgeber Karlsruher Institut für Technologie
- Anzahl Seiten 163
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