Herstellung dünner metallischer Brücken durch Elektromigration und Charakterisierung mit Rastersondentechniken
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Details
In der vorliegenden Arbeit werden metallische Kontakte durch Elektronenstrahllithografie oder Bedampfen durch eine Maske sowie kontrollierte Elektromigration im Ultrahochvakuum hergestellt und mittels Rastersondentechniken charakterisiert. Aus den Rastersondenbildern lassen sich in Verbindung mit den Elektromigrationsdaten Rückschlüsse auf die Entstehung der Morphologie des erzeugten Kontakts ziehen.
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GarantieWeitere Informationen
- Allgemeine Informationen
- GTIN 09783866448438
- Sprache Deutsch
- Genre Weitere Physik- & Astronomie-Bücher
- Lesemotiv Verstehen
- Anzahl Seiten 113
- Größe H240mm x B170mm x T8mm
- Jahr 2014
- EAN 9783866448438
- Format Kartonierter Einband
- ISBN 978-3-86644-843-8
- Veröffentlichung 29.07.2014
- Titel Herstellung dünner metallischer Brücken durch Elektromigration und Charakterisierung mit Rastersondentechniken
- Autor Dominik Stöffler
- Untertitel Dissertationsschrift
- Gewicht 232g
- Herausgeber Karlsruher Institut für Technologie
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