Langzeitstabilität der Innendrücke von Kavernen benachbarter MEMS-Sensoren auf Siliziumbasis
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Aufgrund eines Trends zur Miniaturisierung vieler MEMS-Bauelemente und somit auch der Kavernenvolumina von Inertialsensoren wird der Einfluss geringfugiger Veranderungen der Dampfungsatmosphare in Sensorkavernen auf die Zuverlassigkeit der Sensoren immer großer. In dieser Arbeit werden Mechanismen untersucht, die sich auf die Druckstabilität von Gyroskopen auswirken, und Gegenmaßnahmen vorgestellt. Ein Schwerpunkt liegt auf Desorptionsquellen sowie Gasdiffusionspfaden im Sensoraufbau. Due to a trend towards miniaturization of many MEMS devices and thus also the cavity volumes of inertial sensors, the influence of slight changes in the damping atmosphere in sensor cavities on the reliability of the sensors is increasing. In this work, mechanisms affecting the pressure stability of gyroscopes are investigated and countermeasures are presented. A focus is placed on desorption sources as well as gas diffusion paths in the sensor layer stack.
Weitere Informationen
- Allgemeine Informationen
- GTIN 09783731511212
- Auflage 22001 A. 1. Auflage
- Sprache Deutsch
- Genre Wärme-, Energie- & Kraftwerktechnik
- Lesemotiv Verstehen
- Größe H210mm x B148mm x T14mm
- Jahr 2022
- EAN 9783731511212
- Format Kartonierter Einband
- ISBN 978-3-7315-1121-2
- Veröffentlichung 31.03.2022
- Titel Langzeitstabilität der Innendrücke von Kavernen benachbarter MEMS-Sensoren auf Siliziumbasis
- Autor Marlene Kopf
- Gewicht 326g
- Herausgeber Karlsruher Institut für Technologie
- Anzahl Seiten 220
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