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Nanolithography
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POFCUO2LBG7
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Details
High Quality Content by WIKIPEDIA articles! Nanolithography refers to the fabrication of nanometer-scale structures, meaning patterns with at least one lateral dimension between the size of an individual atom and approximately 100 nm. Nanolithography is used during the fabrication of leading-edge semiconductor integrated circuits (nanocircuitry) or nanoelectromechanical systems (NEMS).Nanolithography is that branch of nanotechnology,which deals with the study and application of fabrication of nanoscale structures like semiconductor circuits.As of 2007, nanolithography is a very active area of research in academia and in industry.
Weitere Informationen
- Allgemeine Informationen
- GTIN 09786130488802
- Editor Lambert M. Surhone, Miriam T. Timpledon, Susan F. Marseken
- Genre Technik
- EAN 9786130488802
- Format Fachbuch
- Titel Nanolithography
- Herausgeber Betascript Publishing
- Anzahl Seiten 76
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