Systemeigenschaften von Silicium-Planar-Pellistoren

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GRF0CL0OF2H
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Details

Silicium-Planar-Pellistoren sind miniaturisierte Gassensoren, die mit Methoden der Si-Mikromechanik hergestellt werden. Brennbare Gase werden kalorimetrisch über die Reaktionswärme einer katalytischen Oxidation detektiert. Entscheidende Kriterien für den Einsatz der Sensoren sind die Nachweisgrenze und die Langzeitstabilität, sowie die Eignung zur Gasidentifikation. Technologische Einflüsse auf diese Eigenschaften werden untersucht und Modelle zur theoretischen Beschreibung formuliert, wodurch eine gezielte Dimensionierung erfolgen kann. Die durch technologische Weiterentwicklungen und neue Varianten des Sensorbetriebs erreichten Verbesserungen werden anhand von Messergebnissen dargestellt.

Weitere Informationen

  • Allgemeine Informationen
    • GTIN 09783831681198
    • Auflage 2., unveränderte Auflage
    • Genre Sonstige Technikbücher
    • Größe H206mm x B146mm x T13mm
    • EAN 9783831681198
    • Format Kartonierter Einband
    • Titel Systemeigenschaften von Silicium-Planar-Pellistoren
    • Autor Robert Aigner
    • Untertitel Dissertationsschrift
    • Gewicht 355g
    • Herausgeber Utz Verlag
    • Anzahl Seiten 196

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