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X-ray optics made by X-ray lithography: Process optimization and quality control
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6ECQ8UIA383
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Geliefert zwischen Fr., 27.02.2026 und Mo., 02.03.2026
Details
Grating based X-ray phase contrast imaging sets out to overcome the limits of conventional X-ray imaging in the detection of subtle density differences and opens a way to characterize a sample's microstructure without the need for ultrahigh spatial resolution. The technique relies on grating structures with micrometric periods and extreme aspect ratio their fabrication by X-ray lithography with optimal structure quality is the topic of this work.
Weitere Informationen
- Allgemeine Informationen
- GTIN 09783731506799
- Lesemotiv Verstehen
- Genre Mechanical Engineering
- Sprache Englisch
- Anzahl Seiten 170
- Herausgeber Karlsruher Institut für Technologie
- Größe H210mm x B148mm x T11mm
- Jahr 2017
- EAN 9783731506799
- Format Kartonierter Einband
- ISBN 3731506793
- Veröffentlichung 16.10.2017
- Titel X-ray optics made by X-ray lithography: Process optimization and quality control
- Autor Frieder Johannes Koch
- Untertitel Dissertationsschrift
- Gewicht 255g
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